Υλικά διεργασίας ημιαγωγών τριφθορίτης αζώτου
Τιμή Μονάδας: USD 9999 / Ton
Min.Order |
Τιμή Μονάδας |
100 Ton |
USD 9999 / Ton |
Εισαγωγή προϊόντος Το τριφθορίδιο αζώτου (NF 3 ) είναι ένα είδος άχρωμου, άοσητου και σταθερού αέριο σταθερού χαρακτήρα, είναι επίσης ένα είδος ισχυρής οξειδωτικής. Το σημείο τήξης του είναι 206,8 ℃, το σημείο βρασμού είναι 129,0 ℃, αδιάλυτο στο...
Κίνα Υλικά διεργασίας ημιαγωγών τριφθορίτης αζώτου Προμηθευτές
Το τριφθορίδιο του αζώτου στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής είναι ένα είδος εξαιρετικού αερίου χάραξης πλάσματος, το οποίο είναι ραγισμένο σε ενεργό ιόν φθορίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας της χάραξης στο πλάσμα. Για τη χάραξη πλάσματος του νιτριδίου πυριτίου και πυριτίου, χρησιμοποιώντας τριφθόριο αζώτου έχει υψηλότερο ρυθμό χάραξης και εκλεκτικότητα από τη χρήση του τετραφθοριούχου άνθρακα ή του τετραφυλουριδίου άνθρακα και του αναμεμειγμένου αερίου οξυγόνου, ειδικά στη διαδικασία της χάραξης ολοκληρωμένου κυκλώματος με πάχος μικρότερο από 1,5 μm, Το τριφθορίδιο αζώτου έχει εξαιρετικό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, επιπλέον, δεν υπάρχει ρύπανση στην επιφάνεια του χαραγμένου υλικού, είναι επίσης ένας καλός καθαρισμός.