Υλικά χάραξης για ηλεκτρονικά κυκλώματα υπερφθοροβουταδένιο

$9999

≥100
Ton

Incoterm:

FOB,CIF,DDP

Min. Παραγγελία:

100 Ton

Επικοινωνήστε τώρα

Περιγραφή Προϊόντος

Χαρακτηριστικά προϊό�...
Δυνατότητα εφοδιασμο�...
Συσκευασία & παράδοση

< >

Overview

Χαρακτηριστικά προϊό�...

Αρ. μοντέλου: Perfluorobutadiene

Δυνατότητα εφοδιασμο�...

Τόπος καταγωγής: ΚΙΝΑ

Incoterm: FOB,CIF,DDP

Συσκευασία & παράδοση

Πώληση μονάδων:: Ton

Εισαγωγή προϊόντος

Το υπερφθοροβουταδιένιο (C4F6) είναι ένα είδος άχρωμο, άοσμο και νερό αδιάλυτο αέριο. Το σημείο τήξης του είναι 132,0 ℃, το σημείο βρασμού είναι 5,9 ℃. Το υπερφθοροβουταδιένιο είναι ένα είδος συζευγμένων ολεφινών που περιέχει έξι άτομα φθορίου και δύο διπλούς δεσμούς άνθρακα-άνθρακα, ως ένα είδος εξαιρετικού αέριο χάραξης, λόγω της μοναδικής αναλογίας F/C, η υπερφθοροβουταδιή έχει υψηλότερη επιλεκτικότητα χάραξης, ακρίβεια και πτυχή από εκείνους του Το παραδοσιακό υπερφθοριωμένο αέριο κορεσμένου φθοροβάθρου, η υπερφθοροβουταδιή μπορεί να χαράξει λιγότερο από 100 nm ακόμη και στενότερο ηλεκτρονικό κύκλωμα. Επιπλέον, το C4F6 έχει υψηλότερη επιλεκτική αναλογία φωτοανθεκτικού και νιτριδίου πυριτίου από αυτόν του C4F8, το οποίο μπορεί να βελτιώσει τη σταθερότητα της χάραξης, τον ρυθμό χάραξης και την ομοιομορφία και έτσι να βελτιώσει την ποιότητα του προϊόντος.

Προδιαγραφή ποιότητας

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Εφαρμογή

Χρησιμοποιείται ως αέριο χάραξης για τη χάραξη πλάσματος των προϊόντων ημιαγωγών.

Συσκευασία και αποθήκευση

Το υπερφθοροβουταδιένιο γεμίζει σε κυλίνδρους χάλυβα με το μοντέλο B10, μέγεθος 14cm χ 83cm, εσωτερικός όγκος 10,1L, μικτό βάρος 14,7kg, ωφέλιμο φορτίο 10kg. Οι προδιαγραφές συσκευασίας μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.

Κατηγορίες Προϊόντων : Υλικά διεργασίας ημιαγωγών > Υλικά διεργασίας ημιαγωγών υπερφθοροβουδιταδένης

Καυτά προϊόντα

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ σε αυτόν τον προμηθευτή

*Θέμα:
*Προς το:

Mr. Rees Cho
*ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ:
*μήνυμα:

Το μήνυμά σας πρέπει να είναι μεταξύ 20-8000 χαρακτήρες