Αποτελεσματική LCD οθόνη Πίνακας καθαρισμού αζώτου τριφθορίου

$9999

≥100
Ton

Incoterm:

FOB,CIF,DDP

Min. Παραγγελία:

100 Ton

Επικοινωνήστε τώρα

Περιγραφή Προϊόντος

Χαρακτηριστικά προϊό�...
Δυνατότητα εφοδιασμο�...
Συσκευασία & παράδοση

< >

Overview

Χαρακτηριστικά προϊό�...

Αρ. μοντέλου: Nitrogen Trifluoride

Δυνατότητα εφοδιασμο�...

Incoterm: FOB,CIF,DDP

Συσκευασία & παράδοση

Πώληση μονάδων:: Ton

Εισαγωγή προϊόντος

Το τριφθορίδιο αζώτου (NF 3 ) είναι ένα είδος άχρωμου, άοσητου και σταθερού αέριο σταθερού χαρακτήρα, είναι επίσης ένα είδος ισχυρής οξειδωτικής. Το σημείο τήξης του είναι 206,8 ℃, το σημείο βρασμού είναι 129,0 ℃, αδιάλυτο στο νερό. Το τριφθορίδιο του αζώτου στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής είναι ένα είδος εξαιρετικού αερίου χάραξης πλάσματος, το οποίο είναι ραγισμένο σε ενεργό ιόν φθορίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας της χάραξης στο πλάσμα. Για τη χάραξη πλάσματος του νιτριδίου πυριτίου και πυριτίου, χρησιμοποιώντας τριφθόριο αζώτου έχει υψηλότερο ρυθμό χάραξης και εκλεκτικότητα από τη χρήση του τετραφθοριούχου άνθρακα ή του τετραφυλουριδίου άνθρακα και του αναμεμειγμένου αερίου οξυγόνου, ειδικά στη διαδικασία της χάραξης ολοκληρωμένου κυκλώματος με πάχος μικρότερο από 1,5 μm, Το τριφθορίδιο αζώτου έχει εξαιρετικό ρυθμό χάραξης και επιλεκτικότητα, επιπλέον, δεν υπάρχει ρύπανση στην επιφάνεια του χαραγμένου υλικού, είναι επίσης ένας καλός καθαρισμός.

Προδιαγραφή ποιότητας

Items	Unit	Indexs
（NF3）≥	Vol.%	99.5	99.9	99.98	99.99	99.996
（CF4）≤	Vol.ppm	1500	500	100	50	20
（N2）≤	Vol.ppm	700	50	10	10	5
（O2+Ar））≤	Vol.ppm	700	50	10	5	3
（CO）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（CO2）≤	Vol.ppm	25	10	10	5	0.5
（N2O）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（SF6）≤	Vol.ppm	50	50	10	5	2
Hydrolyzable fluoride （Measured by HF）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1
（H2O）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1

Εφαρμογή

Το τριφθορίδιο του αζώτου μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως πηγή φθορίνης υψηλής ενέργειας χημικού αέριο λέιζερ και ως παράγοντας χάραξης για υλικά ημιαγωγών όπως πολυσυριτίνα, νιτριδάτα πυριτίου και σιλοκκτονό βολφραμίου. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί ως πράκτορας καθαρισμού για το θάλαμο εναπόθεσης χημικών ατμών και τον πίνακα LCD. Το τριφθορίδιο του αζώτου χρησιμοποιείται ως παράγοντας καθαρισμού για το κουτί CVD, ο οποίος μπορεί να μειώσει τις εκπομπές ρύπων κατά 90% σε σύγκριση με τους υπερφθοροταφιστές και να βελτιώσει σημαντικά την ταχύτητα καθαρισμού και την ικανότητα καθαρισμού.

Συσκευασία και αποθήκευση

Το αζώτρογερίδιο τριφθοριδίου Ε συμπληρώνεται σε έναν κυλινδροκεφαλή χωρίς χάλυβα με τον όγκο των 8L, 40L, 43,3L και 47L, αντίστοιχα. Η πίεση του κυλίνδρου είναι 9,0-13,0MPa. Οι προδιαγραφές συσκευασίας μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.

Κατηγορίες Προϊόντων : Υλικά διεργασίας ημιαγωγών > Υλικά διεργασίας ημιαγωγών τριφθορίτης αζώτου

Καυτά προϊόντα

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ σε αυτόν τον προμηθευτή

*Θέμα:
*Προς το:

Mr. Rees Cho
*ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ:
*μήνυμα:

Το μήνυμά σας πρέπει να είναι μεταξύ 20-8000 χαρακτήρες