Το hexafluoroethane (C 2 F 6 ), επίσης γνωστό ως υπερφθοροαιθάνιο, είναι ένα είδος άχρωμου, άοσμο, μη εύφλεκτου αδρανούς αερίου. Το σημείο τήξης του είναι 100,6 ℃, το σημείο βρασμού είναι 78,2 ℃, ελαφρώς διαλυτό στο νερό. Λόγω της μη τοξικής, άοσμο και υψηλής σταθερότητας, το εξαφθοροαιθάνιο χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Το hexafluoroethane, ως ξηρό ναύτο, έχει τα πλεονεκτήματα της πολύ μικρής χάραξης από την άκρη, του υψηλού ρυθμού χάραξης και της υψηλής ακρίβειας, που μπορούν να ανταποκριθούν στις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών για μικρό γραμμές.
Προδιαγραφή ποιότητας
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt.ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
Εφαρμογή
Η ηλεκτρονική βαθμολογία εξαφθοροαιθάνιο χρησιμοποιείται κυρίως στη διαδικασία κατασκευής των υλικών ημιαγωγών και των συσκευών ημιαγωγών ως παράγοντα χάραξης και καθαρισμού, καθώς και μόνωση αερίου και υψηλής διηλεκτρικής αντοχής.
Συσκευασία και αποθήκευση
Το hexafluoroethane γεμίζει σε καθαρό και ξηρό απρόσκοπτο κυλίνδρους με ειδική θεραπεία. Οι όγκοι των κυλίνδρων είναι 4L, 8L, 10L, 12.5L και 40L κλπ. Οι προδιαγραφές συσκευασίας μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.
Η Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd. είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας που επενδύεται και ιδρύθηκε από την Shandong Zhongshan Group Co., Ltd., η οποία ενσωματώνει την Ε & Α, την πιλοτική δοκιμασία και την εκβιομηχάνιση. Η Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd. διαθέτει μια ομάδα έρευνας και ανάπτυξης 200 ατόμων, συμπεριλαμβανομένων των καθηγητών, ερευνητών, μεταδιδακτορικών, γιατρών, πλοιάρχων και φοιτητών. Η εταιρεία έχει κάνει πολλά καινοτόμα τεχνολογικά επιτεύγματα μετά από αρκετά χρόνια ανάπτυξης. Έχουν εφαρμοστεί περισσότερα από 50 διπλώματα ευρεσιτεχνίας και έχουν εγκριθεί 30 διπλώματα ευρεσιτεχνίας για την εφεύρεση τα τελευταία 3 χρόνια.
Η εταιρεία κατασκευάζει μια πιλοτική πλατφόρμα 5.000M2 Ε & Α, συμπεριλαμβανομένης μιας σειράς πλήρους υποστήριξης και προχωρημένης λειτουργίας των δοκιμαστικών και πιλοτικών συσκευών, όπως το υψηλό καθαρό αέριο φθορίου, τα ειδικά λειτουργικά υλικά άνθρακα, τα υλικά ημιαγωγών (υψηλά καθαρά ηλεκτρονικά αέρια/ ηλεκτρονικά χημικά) , υψηλή ειδική ενεργειακή μπαταρία, ηλεκτρολύτες μπαταρίας λιθίου και πρόσθετα, θερμική μπαταρία και συναφή υλικά, φωτοηλεκτρικά υλικά, σταθερό ισότοπο και παράγωγα υλικά, φθοριωμένα βιοϊατρικά υλικά κλπ. Σχετικές περιοχές νέων υλικών και εξοπλισμού. Η εταιρεία έχει δημιουργήσει ένα προηγμένο Κέντρο Ανάλυσης και Δοκιμών για την Ε & Α και την παραγωγή όλων των έργων.
Ταυτόχρονα, η εταιρεία έχει δημιουργήσει την πρώτη γραμμή παραγωγής μεγάλης κλίμακας φθοριογραφίας και λειτουργικού εργαστηρίου αξιολόγησης απόδοσης υλικού φθοροβάνων σε όλο τον κόσμο και έχει γίνει ο μόνος κατασκευαστής που μπορεί να παράγει μαζική παραγωγή και προμήθεια υψηλής ποιότητας φθορογραφίας στο σπίτι και στο εξωτερικό μέχρι τώρα.
Contact Now
